蝕刻機噴頭的作用及維護
發(fā)表時間：2019-11-12 09:19:40
1.蝕刻機噴頭的介紹：
蝕刻機噴頭是蝕刻機噴淋裝置中最重要的一個部件，藥液噴淋的形狀是根據(jù)蝕刻機噴頭的種類來決定的，不同的蝕刻機噴頭所起到的作用是不一樣的。
2.蝕刻機噴頭的作用：
主要作用是把蝕刻液均勻的噴淋到工件上，蝕刻機噴頭根據(jù)蝕刻機每道工序所對應(yīng)的要求所選擇不同的種類。比如：常規(guī)情況下蝕刻段選擇用扇形，因為蝕刻段對壓力的要求比較高，而我們扇形噴嘴噴淋出的液體壓力會相對較高;顯影段和退膜段我們就采用錐形噴嘴，因為這兩處需要覆蓋面廣，而錐形噴嘴剛好就有這種特性。
扇形噴嘴：扇形噴嘴噴霧 錐形噴嘴：錐形噴嘴噴霧
3.蝕刻機噴頭的維護：
蝕刻液是通過蝕刻機噴頭頂端的小孔把藥水給噴淋出來，這個小孔的直徑是很小的，所以是很容易堵塞的，而我們的蝕刻液沉淀物和腐蝕下來的殘渣都是顆粒狀的，使用的時間過長了這些固體顆粒物的形成就會堵塞噴頭，所以我們需要定期的清理蝕刻機的噴頭才能達到良好的腐蝕效果。
蝕刻機噴頭是蝕刻機噴淋裝置中最重要的一個部件，藥液噴淋的形狀是根據(jù)蝕刻機噴頭的種類來決定的，不同的蝕刻機噴頭所起到的作用是不一樣的。
2.蝕刻機噴頭的作用：
主要作用是把蝕刻液均勻的噴淋到工件上，蝕刻機噴頭根據(jù)蝕刻機每道工序所對應(yīng)的要求所選擇不同的種類。比如：常規(guī)情況下蝕刻段選擇用扇形，因為蝕刻段對壓力的要求比較高，而我們扇形噴嘴噴淋出的液體壓力會相對較高;顯影段和退膜段我們就采用錐形噴嘴，因為這兩處需要覆蓋面廣，而錐形噴嘴剛好就有這種特性。
扇形噴嘴：扇形噴嘴噴霧 錐形噴嘴：錐形噴嘴噴霧
3.蝕刻機噴頭的維護：
蝕刻液是通過蝕刻機噴頭頂端的小孔把藥水給噴淋出來，這個小孔的直徑是很小的，所以是很容易堵塞的，而我們的蝕刻液沉淀物和腐蝕下來的殘渣都是顆粒狀的，使用的時間過長了這些固體顆粒物的形成就會堵塞噴頭，所以我們需要定期的清理蝕刻機的噴頭才能達到良好的腐蝕效果。
